潔凈棚通過以下核心措施控制顆粒物濃度:
1. 高效過濾系統(tǒng):采用HEPA或ULPA過濾器,過濾效率達99.99%以上(針對0.3μm顆粒),確保送風(fēng)潔凈。
2. 氣流組織設(shè)計:
單向流(垂直/水平層流):氣流均勻覆蓋工作區(qū),快速帶走污染物,適用于ISO 5級(百級)等高要求場景。
非單向流:配合FFU(風(fēng)機過濾單元)循環(huán)過濾,適合ISO 6-8級(千級至十萬級)。
3.壓差控制:維持正壓(如+5~+10Pa)防止外部污染侵入,關(guān)鍵區(qū)域可設(shè)置緩沖間。
4. 材料與結(jié)構(gòu):采用光滑抗菌板材、無縫接縫,減少積塵死角;透明簾或硬質(zhì)圍擋平衡密閉性與操作性。
5. 監(jiān)測與維護:實時粒子計數(shù)器監(jiān)測,定期更換過濾器、清潔表面,確保長期穩(wěn)定性。
行業(yè)適配:
半導(dǎo)體/光電:需ISO 4-5級,采用ULPA過濾器+高風(fēng)速單向流。
醫(yī)藥/食品:ISO 5-7級,側(cè)重防微生物污染,材料需耐腐蝕。
普通電子:ISO 6-8級,F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)即可滿足,成本更低。
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